MEMS à veine fluidique intégrée pour la caractérisation et la pesée d'échantillons liquides
Les systèmes MEMS et NEMS permettent, par résonance mécanique, des mesures de masse avec une sensibilité et une résolution propices à la caractérisation d'objets de taille micro- et nanométrique. Ces dispositifs, adaptés à une intégration dans des systèmes d'analyse miniatures plus comple...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2016GREAY063/document |