Optimisation et analyses des propriétés physico-chimiques et diélectriques du parylène D
Ce travail est consacré à l’élaboration et à la caractérisation de couches minces de parylène D déposées par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) sous forme de films de quelques microns d’épaisseur. L’objectif de l’étude est d’évaluer les potentialités de ce polymère en remplacement des parylènes de...
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| Language: | fr |
| Published: |
2016
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2016GREAY080/document |