Caractérisation et contrôle industriel des contraintes locales en microélectronique : applications aux transistors de technologie 20 nm
De nombreuses techniques de caractérisation sont utilisées dans les industries de la microélectronique dans le but d’inspecter et analyser les circuits. Actuellement, la réduction des dimensions des transistors, l’implémentation d’alliage de silicium-germanium (SiGe) et l’ingénierie des déformations...
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| Language: | fr |
| Published: |
2016
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2016GREAY081/document |