Etude de résonateurs MEMS en GaN pour application aux capteurs inertiels
Le nitrure de gallium (GaN) est un matériau semi-conducteur dont la filière est en plein essor. Ses propriétés ont permis d’en faire le deuxième matériau semi-conducteur le plus utilisé pour les composants optiques et électroniques, après le silicium. Cependant, comparativement à ces domaines, peu d...
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| Language: | fr |
| Published: |
2016
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2016LIL10102/document |