Electrical characterization of fully depleted SOI devices based on C-V measurements

Les technologies de films minces sur isolant apparaissent comme des solutions fiables pour la nano électronique. Elles permettent de dépasser les limites des technologies sur substrat silicium massif, en autorisant de faibles tensions d’utilisation et un gain en énergie significatif. En effet, les t...

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Bibliographic Details
Main Author: Mohamad, Blend
Other Authors: Grenoble Alpes
Language:fr
Published: 2017
Subjects:
C-V
Si
620
Online Access:http://www.theses.fr/2017GREAT001/document