Métrologie Hybride pour le contrôle dimensionnel en lithographie
Afin de respecter sa feuille de route, l’industrie du semi conducteur propose des nouvelles générations de technologies (appelées nœuds technologiques) tous les deux ans. Ces technologies présentent des dimensions de motifs de plus en plus réduites et par conséquent des contrôles des dimensions de...
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| Language: | en |
| Published: |
2017
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2017GREAT063/document |