Conception de circuit intégré pour les applications gravimétriques basées sur l’utilisation de résonateurs mécaniques arrangés en réseau
L’extrême sensibilité des résonateurs mécaniques (NEMS) aux variations physiques à l’échelle atomique a permis le développement d’un nouveau concept de spectrométrie de masse à base de NEMS capable de mesurer la taille d’une particule unique. L’utilisation de large réseau de capteurs doit permettre...
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| Language: | fr |
| Published: |
2017
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2017GREAT089/document |