Atomic layer deposition of boron nitride
Cette thèse conclut 3 années d'études doctorales sur le "dépôt de couches atomiques (ALD) de nitrure de bore (BN)". Le but de ce travail a été d'adapter la voie des céramiques dérivées de polymères (PDC) Ã la technique ALD pour la croissance de films minces de h-BN et l'éla...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | en |
| Published: |
2017
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2017LYSE1311/document |