Caractérisation de la nano-porosité de couches minces de nitrure de silicium. Une approche multi-échelles
Le nitrure de silicium est largement utilisé dans l’industrie verrière au sein d’empilements de couches minces permettant de fonctionnaliser le vitrage. Le dépôt de ces couches est réalisé par pulvérisation cathodique magnétron sur une large gamme de surfaces. Cette technique de dépôt génère cependa...
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| Language: | fr |
| Published: |
2017
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2017PA066407/document |