Conception de solutions exactes pour la fabrication de "vias" en utilisant la technologie DSA
Maitriser les coûts de fabrication des circuits intégrés tout en augmentant leur densité est d'une importance primordiale pour maintenir une certaine rentabilité dans l’industrie du semi-conducteur. Parmi les différents composants d’un circuit, nous nous intéressons aux connections verticales e...
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| Language: | en |
| Published: |
2018
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2018GREAM094 |