Etude des structures MIM à base de dioxyde de titane pour des applications DRAM
Le développement des mémoires dynamiques (DRAM) à haute performance basées sur la structure métal-isolateur-métal (MIM) nécessite de remplacer la couche de dioxyde de silicium par des matériaux diélectriques à haute permittivité diélectrique. L'utilisation de ces isolants dits high-k permet de...
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| Language: | fr |
| Published: |
2018
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2018GREAT007/document |