Contribution à l'étude expérimentale des résistances d'accès dans les transistors de dimensions deca-nanométrique des technologies CMOS FD-SOI

La réduction des dimensions des transistors à effet de champ MOS a depuis quelques années ralenti à cause de l'émergence de facteurs parasites tels que la résistance d'accès. En effet, la miniaturisation du canal s'est accompagnée par une diminution de sa résistance tandis que celle d...

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Bibliographic Details
Main Author: Henry, Jean-Baptiste
Other Authors: Grenoble Alpes
Language:fr
Published: 2018
Subjects:
620
Online Access:http://www.theses.fr/2018GREAT039/document