Multimodal sensing and imaging technology by integrated scanning electron, force, and near-field microwave microscopy and its application to submicrometer studies
La combinaison de plusieurs procédés d’imagerie et de mesure permet d’obtenir des ensembles de données complémentaires et parfois uniques. A l’aide d’une technique hybride de microscopie présentant des modalités de mesure différentes et des enregistrements synchrones, on peut recueillir des informat...
| Main Author: | |
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| Language: | en |
| Published: |
2018
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2018LIL1I006 |