Élaboration de couches minces par HiPIMS : propriétés structurales et aspects énergétiques
La pulvérisation cathodique magnétron pulsée à haute puissance (HiPIMS) est un procédé de dépôt de couches minces dans lequel le flux de dépôt est principalement composé d’ions du matériau pulvérisé. Ce type de décharge permet de contrôler l’énergie et la direction des espèces qui seront déposées, c...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | en |
| Published: |
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2018SACLS417/document |