Films de diamant monocristallin dopés au bore pour des applications en électronique de puissance
L’objectif de cette thèse porte sur la synthèse du diamant monocristallin dopé au bore par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-onde (MPCVD). Ces couches épitaxiées jouent le rôle de couches actives dans des composants pour l’électronique de puissance. Ces travaux s’inscrivent dan...
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| Language: | fr |
| Published: |
2018
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2018SACLS510/document |