Étude des potentialités de la transduction diélectrique de haute permittivité pour les résonateurs NEMS et MEMS
L'essor du marché des MicroSystèmes ElectroMécaniques (MEMS : MicroElectroMechanial Systems) durant les deux dernières décennies s'est accompagné d'efforts de recherche soutenus pour élargir leurs champs d'application. Employés comme capteurs gravimétriques, des microstructures v...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2018TOU30302/document |