Caractérisation des propriétés électrochromes de couches minces V2O5 déposées par pulvérisation cathodique : comparaison de la méthode HiPIMS et de la méthode RFMS
Des couches minces d'oxyde de vanadium, V2O5, ont été déposées à température ambiante sur substrat ITO/verre en utilisant trois conditions de dépôt différentes, à savoir la pulvérisation cathodique par magnétron haute fréquence (RFMS) avec cible métallique en V (métal V2O5RF) et cible d’oxyde d...
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| Language: | en |
| Published: |
2019
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2019BORD0062 |