Ultra propreté : des microgouttes aux nanoparticules
Avec l’évolution de la microélectronique et la miniaturisation des différents composants à l’échelle nanométrique, la taille des particules critiques à éliminer lors du procédé de fabrication a été drastiquement réduite. En effet, cette taille critique est actuellement de l’ordre de 10nm. Les procéd...
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| Language: | fr |
| Published: |
2019
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2019GREAY019/document |