Films de diamant hétéroépitaxiés sur Ir/SrTiO₃/Si (001) : une voie vers des substrats de plus grande taille

Le diamant monocristallin est un candidat prometteur pour les applications en électronique de puissance et l'hétéroépitaxie est une alternative crédible à la synthèse de ce matériau. Lors de ce travail de thèse, chacune des étapes de la synthèse de films de diamant hétéroépitaxié sur des pseudo...

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Bibliographic Details
Main Author: Delchevalrie, Julien
Other Authors: Paris Saclay
Language:fr
Published: 2019
Subjects:
CVD
Online Access:http://www.theses.fr/2019SACLS383/document