Study of an integrated on-chip interferometer. Application for the characterization of innovative transducers.
Ce travail de thèse porte sur l’étude de deux éléments au cœur d’un système de nanopositionnement et de micromanipulation : a) un capteur interférométrique intégré sur puce ; ses caractéristiques, particularités et potentiels sont étudiés en détails ; b) un élément utilisable en capteur et actionneu...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | en |
| Published: |
2019
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2019SACLV014/document |