Trap mediated piezoresponse of silicon in the space charge limit.

Trap mediated piezoresponse of silicon in the space charge limit.

Cette thèse contribue à l’étude des effets géants et anormaux de piézo-résistance (PZR) observés dans le nano-silicium. La PZR du silicium massif est devenue la clé de voûte de nombreuses technologies dont l’industrie micro-électronique vise des dispositifs de dimensions nanométriques. Il est donc l...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Li, Heng
Other Authors: Université Paris-Saclay (ComUE)
Language:en
Published: 2019
Subjects:
Nanostructures de silicium
Piézorésistance
Défauts de surfaces
Spectroscopie d'impédance
Limite de charge d'espace
Contrainte mécanique
Silicon nanostructures
Piezoresistance
Surface defects
Impedance spectroscopy
Space charge limit
Mechanical stress
620.112 92
Online Access:http://www.theses.fr/2019SACLX039/document

Internet

http://www.theses.fr/2019SACLX039/document

Similar Items