Einfluss der Gehäusung auf die Messunsicherheit von mikrogehäusten Drucksensoren mit piezoresistivem Messelement
Die vorliegende Arbeit befasst sich mit dem Entwurf von miniaturisierten piezoresistiven Silizium-Drucksensoren mit niedrigem Nenndruckbereich, die über eine Medientrennung für einen langzeitstabilen Schutz des Messelements gegen wässrige Medien verfügen. Der Entwurf wird am Beispiel der Entwicklung...
Main Author: | |
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Format: | Others |
Language: | German de |
Published: |
2008
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Online Access: | http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/952/1/gehaeusung_von_drucksensoren.pdf Sindlinger, Stefan <http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/view/person/Sindlinger=3AStefan=3A=3A.html> : Einfluss der Gehäusung auf die Messunsicherheit von mikrogehäusten Drucksensoren mit piezoresistivem Messelement. [Online-Edition] Technische Universität, Darmstadt [Ph.D. Thesis], (2008) |
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http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/952/1/gehaeusung_von_drucksensoren.pdfSindlinger, Stefan <http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/view/person/Sindlinger=3AStefan=3A=3A.html> : Einfluss der Gehäusung auf die Messunsicherheit von mikrogehäusten Drucksensoren mit piezoresistivem Messelement. [Online-Edition] Technische Universität, Darmstadt [Ph.D. Thesis], (2008)