Étude fondamentale des mécanismes de gravure par plasma de matériaux de pointe : application à la fabrication de dispositifs photoniques
Thèse numérisée par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal.
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Language: | fr |
Published: |
2017
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Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/1866/17365 |