Étude fondamentale des mécanismes de gravure par plasma de matériaux de pointe : application à la fabrication de dispositifs photoniques
Thèse numérisée par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal.
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/1866/17365 |