Développement et caractérisation de sources de neutres réactifs pour l’étude des interactions plasmas-surfaces
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer et de caractériser diverses sources de neutres réactifs destinées à des études fondamentales des interactions plasmas-surfaces. Ce projet s’inscrit dans le cadre d’une vaste étude de la physique des interactions plasmas-parois mises en jeu dans...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/1866/6986 |