Charakterisierung und Optimierung von Diffusionsbarrieren auf der Basis metallischer Oxidschichten
Main Author: | |
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Other Authors: | |
Format: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Published: |
2002
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Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/11858/00-1735-0000-0006-B435-0 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:7-webdoc-1212-6 |