Photoakustische Online-Spektroskopie von Schichten im Nanometer-Bereich
Die Messung der Schichtdicke und die Charakterisierung von Oberflächen ist in modernen Produktionsprozessen von elementarem Interesse. Fehler wirken sich nicht nur unmittelbar sondern auch in der Weiterverarbeitung zum Endprodukt aus. In der Praxis werden zunehmend immer dünnere Schichten und edlere...
| Main Author: | |
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| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
Niedersächsische Staats- und Universitätsbibliothek Göttingen
2014
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/11858/00-1735-0000-0022-5E70-4 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:7-11858/00-1735-0000-0022-5E70-4-1 |