Herstellung SiO2-basierter nano- und mikroskaliger Strukturen via UV-Nanoimprintlithographie auf Basis hybridpolymerer Sol-Gel-Materialien
Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung von SiO2-basierten nano- und mikroskalig strukturierten Schichten, welche eine Temperaturstabilität > 500 °C sowie eine Strukturtreue > 90 % aufzeigen. Diese wurden unter Verwendung von hybridpolymeren, partikelmodifizierten Sol-Gel-Vorstufen v...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | deu |
| Published: |
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://opus.bibliothek.uni-wuerzburg.de/frontdoor/index/index/docId/10771 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bvb:20-opus-107713 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:20-opus-107713 https://opus.bibliothek.uni-wuerzburg.de/files/10771/back_franziska_nanoskalige_strukturen.pdf |