Fabrication par lithographie hybride et procédé damascène de transistors monoélectroniques à grille auto-alignée
Ce mémoire est le résultat d'un projet de fabrication de transistors monoélectroniques (SET). Ces dispositifs, fabriqués pour la première fois à la fin des années quatre-vingt, permettent d'observer le passage d'un nombre discret d'électrons entre deux électrodes. À température a...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | French |
| Published: |
Université de Sherbrooke
2010
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| Online Access: | http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1573 |