Contributions à l'avancement de techniques de caractérisation de semiconducteur au microscope électronique à balayage
Dans le cadre de ce projet de doctorat, plusieurs contributions importantes ont été apportées aux domaines scientifiques. Premièrement, un programme de simulation de trajectoire d'électrons dans un solide par la méthode de Monte Carlo a été élaboré. Ce programme, nommé CASINO, permet de reprodu...
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Language: | French |
Published: |
Université de Sherbrooke
1998
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Online Access: | http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1685 |