Contributions à l'avancement de techniques de caractérisation de semiconducteur au microscope électronique à balayage

Dans le cadre de ce projet de doctorat, plusieurs contributions importantes ont été apportées aux domaines scientifiques. Premièrement, un programme de simulation de trajectoire d'électrons dans un solide par la méthode de Monte Carlo a été élaboré. Ce programme, nommé CASINO, permet de reprodu...

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Bibliographic Details
Main Author: Drouin, Dominique
Other Authors: Beauvais, Jacques
Language:French
Published: Université de Sherbrooke 1998
Online Access:http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1685