Réalisation de guides d'onde plans faibles pertes en nitrure de silicium pour un biocapteur intégré
Le nitrure de silicium est un matériau très utilisé en microélectronique et en optique intégrée du à l'excellente homogénéité et reproductibilité de son épaisseur et de son indice de réfraction. De plus, l'indice de réfraction élevé du nitrure de silicium est particulièrement intéressant p...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | French |
| Published: |
Université de Sherbrooke
2009
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| Online Access: | http://savoirs.usherbrooke.ca/handle/11143/1924 |