Medida de topografia de superfície usando a técnica de deslocamento de fase

Medida de topografia de superfície usando a técnica de deslocamento de fase

Neste trabalho, medimos o perfil 3D de superfícies (microtopografia) utilizando uma técnica de interferometria óptica: Phase-Shi,ftzng (Deslocamento de Fase). Utilizamos um interferômetro do tipo Twyman-Green para produzir fi.guras de interferência da superfície analisada. Essas imagens foram armaze...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Soga, Diogo
Other Authors: Muramatsu, Mikiya
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2000
Subjects:
Deslocamento de Fase
Interferometria Laser
Laser interferometry
non-destructive technique
Phase Shift
Retirada de Ambiguidade.
Surface topography
Técnica não-destrutiva
Topografia de Superfície
Withdrawal of Ambiguity.
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-02082013-153443/

Internet

http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-02082013-153443/

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