"Aplicação da fluorescência de raios X (WDXRF): Determinação da espessura e composição química de filmes finos"

Neste trabalho é descrito um procedimento para a determinação quantitativa da espessura e composição química de filmes finos, por fluorescência de raios X por dispersão de comprimento de onda (WDXRFS), utilizando-se o método de Parâmetros Fundamentais (FP). Este método foi validado dentro dos padrõe...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Scapin, Valdirene de Olivieira
Other Authors: Lima, Nelson Batista de
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2004
Subjects:
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/85/85134/tde-06082007-150613/