Produção e caracterização de filmes finos de silício amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz.

Produção e caracterização de filmes finos de silício amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz.

Apresentamos neste trabalho uma técnica alternativa para a obtenção de filmes finos de silício amorfo hidrogenado (&#945-Si:H). Nós depositamos &#945-Si:H em um sistema de deposição que utiliza descarga luminescente a baixas freqüências (60Hz). Para tanto, nós projetamos todo o reator para q...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Fragalli, Jose Fernando
Other Authors: Bagnato, Vanderlei Salvador
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 1994
Subjects:
Descarga luminescente
Electrical properties
Glow discharge
Hydrogenated amorphous silicon
Optical properties
Propriedades elétricas
Propriedades estruturais
Propriedades ópticas
Silício amorfo hidrogenado
Structural properties
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76131/tde-09062009-090951/

Internet

http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76131/tde-09062009-090951/

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