Medidas de expoentes críticos de filmes de diamante por meio de microscopia de força atômica

Neste trabalho investigamos a dinâmica de crescimento de filmes de diamante sintetizados por meio de deposição química a vapor ativada por plasma de microondas (CVD). A caracterização foi feita utilizando, fundamentalmente, microscopia de força atômica (AFM). Analisamos o comportamento da rugosidade...

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Bibliographic Details
Main Author: Silveira, Marcilei Aparecida Guazzelli da
Other Authors: Salvadori, Maria Cecilia Barbosa da Silveira
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 1999
Subjects:
KPZ
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-19062015-165612/