Medidas de expoentes críticos de filmes de diamante por meio de microscopia de força atômica
Neste trabalho investigamos a dinâmica de crescimento de filmes de diamante sintetizados por meio de deposição química a vapor ativada por plasma de microondas (CVD). A caracterização foi feita utilizando, fundamentalmente, microscopia de força atômica (AFM). Analisamos o comportamento da rugosidade...
Main Author: | Silveira, Marcilei Aparecida Guazzelli da |
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Other Authors: | Salvadori, Maria Cecilia Barbosa da Silveira |
Format: | Others |
Language: | pt |
Published: |
Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
1999
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Subjects: | |
Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-19062015-165612/ |
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