Implementação de sensores ópticos integrados para aplicações em análises químicas e ambientais.

Este trabalho tem como objetivo o desenvolvimento de sensores químicos ópticos baseados no Interferômetro Mach-Zehnder (MZI) para aplicações em análises químicas e ambientais. Tais dispositivos foram implementados a partir da fabricação de guias de ondas sobre um substrato de silício monocristalino....

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Siarkowski, Acácio Luiz
Other Authors: Borges, Ben-Hur Viana
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2007
Subjects:
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26072007-162928/