Implementação de sensores ópticos integrados para aplicações em análises químicas e ambientais.

Implementação de sensores ópticos integrados para aplicações em análises químicas e ambientais.

Este trabalho tem como objetivo o desenvolvimento de sensores químicos ópticos baseados no Interferômetro Mach-Zehnder (MZI) para aplicações em análises químicas e ambientais. Tais dispositivos foram implementados a partir da fabricação de guias de ondas sobre um substrato de silício monocristalino....

Full description

Bibliographic Details
Main Author:	Siarkowski, Acácio Luiz
Other Authors:	Borges, Ben-Hur Viana
Format:	Others
Language:	pt
Published:	Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2007
Subjects:	Análise química Chemical analyse Filmes finos Interferômetro Mach-Zehnder Mach-Zehnder interferometer Optical sensor Sensor óptico Thin films
Online Access:	http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26072007-162928/

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