Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen
In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung von ausschließlich elektrostatisch arbeitenden Sensor-Aktor-Arrays zur Oberflächenprofilbestimmung an Mikroteilen beschrieben. Ein wesentliches Merkmal der Strukturen ist ihr großer Eigenzustellbereich von bis zu 20 Mikrometer. Die Auswertung atomar...
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Format: | Doctoral Thesis |
Language: | deu |
Published: |
Universitätsbibliothek Chemnitz
2005
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Subjects: | |
Online Access: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500132 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500132 http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/data/index.html http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/data/Dissertation_Kotarsky_07.01.2005.pdf http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/20050013.txt |
Internet
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500132http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500132
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/data/index.html
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/data/Dissertation_Kotarsky_07.01.2005.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/20050013.txt