Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen

Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen

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In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung von ausschließlich elektrostatisch arbeitenden Sensor-Aktor-Arrays zur Oberflächenprofilbestimmung an Mikroteilen beschrieben. Ein wesentliches Merkmal der Strukturen ist ihr großer Eigenzustellbereich von bis zu 20 Mikrometer. Die Auswertung atomar...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Kotarsky, Ulf
Other Authors: TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Format: Doctoral Thesis
Language:deu
Published: Universitätsbibliothek Chemnitz 2005
Subjects:
Atomkraftmikroskopie (AFM)
Intermittent Contact Mode
repulsive Kraftwirkung
zyklischer Kontaktmodus
Oberflächenmikromechanik
Positionssensor
Profilometrie
Tapping Mode
attraktive Kraftwirkung
kapazitive Signalwandlung
ddc:620
Rasterkraftmikroskopie
Resonanzmethode
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500132
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500132
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/data/index.html
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/data/Dissertation_Kotarsky_07.01.2005.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/20050013.txt

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500132
http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200500132
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/data/index.html
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/data/Dissertation_Kotarsky_07.01.2005.pdf
http://www.qucosa.de/fileadmin/data/qucosa/documents/4936/20050013.txt

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