Estudo de transistores de porta tripla (FinFETs) de silício e de germânio.
Este trabalho apresenta um estudo que inclui a comparação experimental entre transistores de porta tripla (FinFETs) fabricados sobre lâminas de Silício-Sobre Isolante (SOI) e os fabricados diretamente sobre a lâmina de silício (de corpo). A caracterização elétrica dos FinFETs foi realizada para...
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Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade de São Paulo
2016
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Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-21032017-152959/ |